PLS960 超音波レベルセンサー | 液面計 | 超音波センサー

SENSARAS（センサラス）について

SENSARAS（センサラス）は、2013年5月にGlen Melder氏によって設立された、超音波式液体レベルセンサー専門メーカーです。

エンジニアリングおよび製造チームは、30年以上にわたり液体レベルセンサーの設計・開発・製造に携わり、半導体業界をはじめとするさまざまな分野で豊富な実績を積み重ねてきました。

長年培った技術と経験をもとに、多様なセンサー技術を一つの製品に融合する独自の設計思想により、高い信頼性と優れた性能を実現するとともに、お客様のトータルコスト削減にも貢献しています。

超音波ポイントレベルシステム「960シリーズ」

960シリーズは、半導体製造プロセスで使用される超高純度液体薬品の液面検知に特化した超音波式ポイントレベルセンサーです。

PVD、CVD、ALDプロセスで使用されるバブラーやアンプルなど、容器内の液面を高い精度と信頼性で検知します。

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主な特長

可動部品を使用しないクリーン設計 プローブ内部にはフロートなどの可動部品を使用していないため、摩耗や故障のリスクを低減するとともに、パーティクルや不純物混入を防ぎます。
超高純度薬液を扱う半導体プロセスに最適な設計です。

1本のプローブで複数ポイントを検知 独自の超音波技術により、1本のプローブで最大7ポイントまでの液面検知ポイントを設定できます。複数の液面レベルを1本のプローブで監視できるため、装置の省スペース化や配線の簡素化、部品点数の削減に貢献します。また、お客様の用途やプロセスに応じて、検知ポイントの位置や本数をカスタマイズすることも可能です。

液体特性の影響を受けない安定した検知 薬液の色、誘電率、密度、粘度の影響を受けず、さまざまな薬液に対して安定した液面検知を実現します。

カスタム設計に対応 プローブ長さや検知ポイント数など、お客様の装置仕様や用途に合わせたオーダーメイド設計が可能です。

半導体仕様の高品質プローブ 接液部はすべて316Lステンレス鋼（316LSS）を採用し、電解研磨（EP）仕上げを施しています。
さらに、全数リークテストを実施し、高い品質と信頼性を確保しています。

高温環境にも対応 電子ユニットをプローブから分離したリモート構造を採用することで、最高使用温度200℃の高温環境にも対応。
高温プロセスにおいても高い信頼性と安定した液面検知を実現します。

校正不要ですぐに使用可能 設置後の校正や調整は不要です。導入後すぐに安定した液面検知を開始でき、保守工数の削減にもつながります。

ポイントセンサーの仕組み

圧電センサーを使用する一つの方法は、液体の存在または非存在を検出することです。
これは液体中の音速が気体よりもはるかに速いため、液体が音波をよく伝えるためです。

たとえば、シリンダー内に液体の存在を測定したい場合、そのシリンダーを横切る信号を送信し、正確なタイミングで音波が戻り、信号または戻り信号がを検出することで確認できます。

液面が対象ではないため、液面の角度にはあまりセンシティブではありません。

材料のタイプに対してもあまりセンシティブではありません。
液体と気体では音速が異なるためです。

左の例では5つの計測ポイントを使用しています。

下の3つのセンサーで信号が返されているため、この容器には約50%が充填されていることがわかります。

この場合、100%、80%、50%、25%、10%の計測ポイントが設定され、充填物の使用状況をレベル追跡したい場合に用いることができます。

充填を100%で停止したい場合や容器が空になる前の10%レベルでアラートを出すことも可能です。

当社のポイントセンサーは容器に挿入され、容器内のレベルを検出するセンサーです。
センサーが内蔵されたプローブは中央が中空構造になっており、そのプローブ中央部へ液体が入り、各計測ポイントで超音波信号が発せられることで液体の量を測ることができます。

計測ポイントは最小1ポイントから最大8ポイント（プローブの長さにより対応可）まで、計測ポイントはご希望の位置に設定いたします。
温度計測もプローブへビルトインすることで、最大2か所まで計測が可能です。

お使いの腐食性液体への対応するためにもカスタム品でハステロイによるプローブの納入も可能です。
無駄なく薬剤を最後までお使いいただくためにも、最終の計測ポイントは容器底部から約6mmの高さまでの設定が可能です。
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